欧美……一区二区三区,欧美日韩亚洲另类视频,亚洲国产欧美日韩中字,日本一区二区三区dvd视频在线

深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>半導(dǎo)體專業(yè)檢測設(shè)備>>晶圓形貌測量系統(tǒng)>> WD4000晶圓形貌測量設(shè)備

晶圓形貌測量設(shè)備

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:WD4000

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

收藏
舉報(bào) 評價(jià)

更新時(shí)間:2024-07-02 10:13:56瀏覽次數(shù):833次

聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工儀器網(wǎng)
WD4000晶圓形貌測量設(shè)備自動(dòng)測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。能實(shí)現(xiàn)Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。

WD4000晶圓形貌測量設(shè)備采用白光光譜共焦多傳感器和白光干涉顯微測量雙向掃描技術(shù),完成非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像,實(shí)現(xiàn)Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。廣泛應(yīng)用于襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)。

晶圓形貌測量設(shè)備

WD4000晶圓形貌測量設(shè)備自動(dòng)測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。

1、使用光譜共焦對射技術(shù)測量晶圓Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等參數(shù),同時(shí)生成Mapping圖;

2、采用白光干涉測量技術(shù)對Wafer表面進(jìn)行非接觸式掃描同時(shí)建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面形貌、粗糙度及相關(guān)3D參數(shù);

3、基于白光干涉圖的光譜分析儀,通過數(shù)值七點(diǎn)相移算法計(jì)算,達(dá)到亞納米分辨率測量表面的局部高度,實(shí)現(xiàn)膜厚測量功能;

4、紅外傳感器發(fā)出的探測光在Wafer不同表面反射并形成干涉,由此計(jì)算出兩表面間的距離(即厚度),可適用于測量BondingWafer的多層厚度。該傳感器可用于測量不同材料的厚度,包括碳化硅、藍(lán)寶石、氮化鎵、硅等。

晶圓形貌測量設(shè)備

WD4000晶圓測量系統(tǒng)可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。


測量功能

1、厚度測量模塊:厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;

2、顯微形貌測量模塊:粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。

3、提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等;粗糙度分析包括國際標(biāo)準(zhǔn)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù);結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷。


應(yīng)用場景

1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

晶圓形貌測量設(shè)備

通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建,強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。


2、無圖晶圓粗糙度測量

晶圓形貌測量設(shè)備

Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片,細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數(shù)據(jù)計(jì)算重復(fù)性為0.046987nm,測量穩(wěn)定性良好。


部分技術(shù)規(guī)格

品牌CHOTEST中圖儀器
型號WD4000
厚度和翹曲度測量系統(tǒng)
可測材料砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 鎵;鍺;磷化銦;鈮酸鋰;藍(lán)寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等
測量范圍150μm~2000μm
掃描方式Fullmap面掃、米字、自由多點(diǎn)
測量參數(shù)厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、線粗糙度
三維顯微形貌測量系統(tǒng)
測量原理白光干涉
干涉物鏡10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個(gè))
可測樣品反射率0.05%~100
粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm
測量參數(shù)顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大類300余種參數(shù)
膜厚測量系統(tǒng)
測量范圍90um(n= 1.5)
景深1200um
最小可測厚度0.4um
紅外干涉測量系統(tǒng)
光源SLED
測量范圍37-1850um
晶圓尺寸4"、6"、8"、12"
晶圓載臺防靜電鏤空真空吸盤載臺
X/Y/Z工作臺行程400mm/400mm/75mm


懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。



同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

晶圓微觀幾何輪廓測量系統(tǒng)

型號:WD4000 參考價(jià): ¥3000000
熱門推薦

晶圓翹曲度幾何量測系統(tǒng)

型號:WD4000 參考價(jià): ¥3000000
熱門推薦

晶圓幾何形貌量測機(jī)

型號:WD4000 參考價(jià): ¥3000000
熱門推薦

高精度晶圓厚度幾何量測系統(tǒng)

型號:WD4000 參考價(jià): ¥3000000
熱門推薦

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
撥打電話 產(chǎn)品分類
在線留言
国产一区二区无套内射-国内精品久久久久久久齐pp| 中文字幕日本在线资源-国产+成+人+亚洲欧洲自线| 国产人妻人伦精品日本-国产98超碰人人做人人爱| 亚洲精品蜜桃在线观看-国产欧美日韩在线观看精品观看| 日韩精品中文在线观看一区-亚洲bt欧美bt精品| 国产欧美一区二区三区嗯嗯-欧美一区二区日本国产激情| 日韩欧美国产综合久久-国产精品一起草在线观看| 国产精品二区高清在线-91精品91久久久久久| 亚洲午夜久久久精品影院-性感美女在线观看网站国产| 国产老熟女激情小视频-成人一区二区人妻不卡视频| 亚洲最新国产无人区123-黄片一区二区在线观看| 国产欧美日本一区二区-一区二区三区亚洲在线播放| 性色国产成人久久久精品二区三区-偷窥中国美女洗澡视频| 狠狠狠狠爱精品一二三四区-l舌熟女av国产精品| 国产一区二区三区四区五区麻豆-欧美一级在线视频播放| 国产传媒中文字幕在线观看-午夜福利视频在线播放观看| 精品老熟妇一区二区三区-日韩丰满一区二区三区| 亚洲一区二区免费av-中文字幕人妻久久久一区二区三区| av一区免费在线观看-中文字幕日韩国产精品视频| 国产一区二区三区四区五区麻豆-欧美一级在线视频播放| 欧美字幕一区二区三区-好吊妞欧美一区二区在线观看| 免费午夜福利视频在线观看-亚洲成人日韩欧美伊人一区| 免费午夜福利在线观看-黄色日本黄色日本韩国黄色| 亚洲一区二区三在线观看-国产精品亚洲а∨天堂123| 人妻日韩精品中文字幕图片-麻豆极度性感诱人在线露脸| 国产精品电影在线一区-亚洲国产大片一区二区官网| 国产欧美成人精品第一区-日本黄色精品一区二区| 久久精品国产亚洲av湖南-竹菊精品一区二区三区| 一区二区三区女同性恋-熟妇高潮一区二区高清网络视频| 日韩二级视频在线观看-美女扒开奶罩露出奶子的视频网站| 97一区二区三区在线-欧美护士性极品hd4k| 中文字幕日本在线资源-国产+成+人+亚洲欧洲自线| 国产精品中出久久久蜜臀-久久久中国精品视频久久久| 精彩亚洲一区二区三区-中文字幕中文字幕在线色站| 国模自慰一区二区三区-日韩一级黄色片天天看| 亚洲最新国产无人区123-黄片一区二区在线观看| 亚洲av高清一区三区三区-久久人妻夜夜做天天爽| 午夜精品午夜福利在线-内射无套内射国产精品视频| 白嫩美女娇喘呻吟高潮-久久一区二区三区日产精品| 亚洲欧美日韩国产一区二区三区-国产欧美日韩一区二区免费| 亚洲欧美日韩国产一区二区三区-国产欧美日韩一区二区免费|